晶圆凸点

Bump Fusion

用于高性能算力芯片、3D 堆叠 IC、高端射频芯片精密封装场景

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Bump Fusion (凸点回流)是晶圆凸点成型核心制程,通过高温回流使晶圆表面金属凸点均匀成型,构建高密度垂直互连触点;

适配专用焊料可保证凸点尺寸统一、表面光洁,为倒装、2.5D 堆叠提供可靠互连基础。

 



行业挑战和解决方案


普通凸点焊料回流后易出现凸点大小不均、表面氧化、空洞与塌陷问题,共面度不达标会直接造成后续倒装虚焊、导通失效。


华庆定制晶圆凸点专用合金焊料,熔融流动性可控,回流成型一致性强,凸点表面氧化少、空洞率极低,凸点共面性优异,适配整片晶圆批量回流工艺,大幅提升高端先进封装良率与长期电气可靠性。


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